日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計LC-450D
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面/面板安裝類型 | ||
| 顯示方式 | 4位數字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm自動量程 | ||
| 重復性 | 在±1％FS 0-1ppm以內，atm范圍超出濃度保證范圍 | ||
| 取樣方式 | 內置泵的連續吸入型 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
| 流量 | ?1,500升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0-50°攝氏度 | ||
| 其他 | 請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，氯氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或更高 （選件：4-20mADC，絕緣，負載電阻550Ω或更低） 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 | |
| 輸出范圍 | 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動/固定范圍 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 失?。ㄔO備錯誤） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或更小，0.5A或更小 由于設備錯誤導致的觸點閉合（觸點操作可更改） |
| ALM（濃度警報） | 2點（L / LL） | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 發生警報時的接點閉合（可以更改接點操作） | |
| RDY（預熱信號） | 1分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下在 預熱期間，接點閉合（可以更改接點操作）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2分 | 非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下 | |
| 熱身時間 | 5分鐘以內 | ||
| 尺寸 | 身體 | 240（W）×134（H）×210（D）mm（不包括突起） | |
| 大眾 | 約5kg | ||
| 氣體 連接口 | 進口 | Rc1 / 8 | |
| 旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
| 出口 | Rc1 / 8 | ||
| 使用電源 | 24VDC±10％，1.25A（30VA，穩態） | ||
日本東麗toray半導體制造設備用氧氣溶度計LC-450D
