用于半導體和硅的紅外輻射溫度計 IR-CAT 介紹

IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計，配備數(shù)字溫度顯示、參數(shù)設置功能和測量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個型號，兼容多種非接觸式測溫字段。

半導體/硅片溫度測量

可測量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計。采用使晶圓不透明的測量波長，減少加熱器對背面的影響

其他特性

• 一體化結構，內置數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設置功能，可通過主機操作

• 精度高、響應快、可靠性高

• 可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)

• 提供設置顯示，用于 IR-CA 的遠程監(jiān)控和遠程設置。
  可通過RS-485通訊進行設置和顯示。

• 準備數(shù)據(jù)記錄軟件

• 可選配保護殼、水冷板等配件，以適應安裝環(huán)境。

規(guī)格